面向超精密电机驱动的软开关功率放大器
该技术提出了一系列新型的谐振型软开关功率放大器电路拓扑,该电路通过增加缓冲吸收电路来实现开关器件的软开关状态,利用谐振电路的谐振过程改善功率开关器件的开关状况,减小功率器件的开关损耗,提高了系统的动态响应。同时,该拓扑电路可工作于全周期偏置电流模式,减小了输出电流纹波以及电压应力,并且在全负载(大电流、小电流)情况下都能实现软开关,以满足在大功率超精密运动控制场合下的需求。目前技术成熟度为6级,处于产业化起步阶段。
谐振型软开关功率放大器样机实现了应用于超精密定位领域的功率放大器高动态、低非线性失真的要求。谐振型软开关功率放大器样机具有良好的性能指标,特别是高压功率放大器领域,输出电流的谐波和带宽的指标都优于其他同类功率放大器,效率较高能够满足系统的要求,适用于光刻机宏动系统的超精密电机驱动。
控制与信息工程学院韦坚
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